半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
1期
6-11
,共6页
欧姆接触%铝镓氮/氮化镓%高电子迁移率晶体管
歐姆接觸%鋁鎵氮/氮化鎵%高電子遷移率晶體管
구모접촉%려가담/담화가%고전자천이솔정체관
从欧姆接触形成的机理出发,介绍了在AlGaN/GaN HEMT中实现源和漏区欧姆接触的各种方法,如表面处理技术、金属化系统和重掺杂技术等.回顾了近年来这些方法的研究进展.
從歐姆接觸形成的機理齣髮,介紹瞭在AlGaN/GaN HEMT中實現源和漏區歐姆接觸的各種方法,如錶麵處理技術、金屬化繫統和重摻雜技術等.迴顧瞭近年來這些方法的研究進展.
종구모접촉형성적궤리출발,개소료재AlGaN/GaN HEMT중실현원화루구구모접촉적각충방법,여표면처리기술、금속화계통화중참잡기술등.회고료근년래저사방법적연구진전.
