微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
2期
13-15,33
,共4页
张晓玉%周崇喜%姚汉民%邢廷文
張曉玉%週崇喜%姚漢民%邢廷文
장효옥%주숭희%요한민%형정문
SU-8光刻胶%SU-8环氧树脂%柱层析法%尺寸排阻色谱法
SU-8光刻膠%SU-8環氧樹脂%柱層析法%呎吋排阻色譜法
SU-8광각효%SU-8배양수지%주층석법%척촌배조색보법
为分析和解决商业用SU-8胶在355 nm波长的吸收性和后烘缩胶等问题,先采用柱层析对SU-8环氧树脂进行分离,然后进一步用高压液相色谱-尺寸排阻色谱法对SU-8环氧树脂进行分离和分析.结果表明,SU-8环氧树脂包括SU-1,SU-2,SU-4,SU-6和SU-8多种组分及其它杂质,分子量分布在100-100 000的范围.根据分析结果,研究了上述问题出现的原因,并配制了性能优化的SU-8光刻胶,结合全息光刻技术制作了三维光子晶体.
為分析和解決商業用SU-8膠在355 nm波長的吸收性和後烘縮膠等問題,先採用柱層析對SU-8環氧樹脂進行分離,然後進一步用高壓液相色譜-呎吋排阻色譜法對SU-8環氧樹脂進行分離和分析.結果錶明,SU-8環氧樹脂包括SU-1,SU-2,SU-4,SU-6和SU-8多種組分及其它雜質,分子量分佈在100-100 000的範圍.根據分析結果,研究瞭上述問題齣現的原因,併配製瞭性能優化的SU-8光刻膠,結閤全息光刻技術製作瞭三維光子晶體.
위분석화해결상업용SU-8효재355 nm파장적흡수성화후홍축효등문제,선채용주층석대SU-8배양수지진행분리,연후진일보용고압액상색보-척촌배조색보법대SU-8배양수지진행분리화분석.결과표명,SU-8배양수지포괄SU-1,SU-2,SU-4,SU-6화SU-8다충조분급기타잡질,분자량분포재100-100 000적범위.근거분석결과,연구료상술문제출현적원인,병배제료성능우화적SU-8광각효,결합전식광각기술제작료삼유광자정체.
