河南科技大学学报（自然科学版）
河南科技大學學報（自然科學版）
하남과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2011年
4期
5-7
,共3页
SrTiO3%漏电流%介电常数%介电损耗
SrTiO3%漏電流%介電常數%介電損耗
SrTiO3%루전류%개전상수%개전손모
在不同的退火气氛下,采用金属有机物分解法在(111) Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了SrTiO3薄膜材料,并对其结构和电学性能进行了研究.X射线衍射结果显示SrTiO3薄膜都呈现多晶立方钙钛矿结构.对比不同气氛下制备出的SrTiO3样品电学测量结果,发现在氧气氛中退火后,样品具有较低的漏电流和较好的介电性能,这可能是由于氧气氛中退火减少了SrTiO3薄膜内氧空位的浓度引起的.
在不同的退火氣氛下,採用金屬有機物分解法在(111) Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭SrTiO3薄膜材料,併對其結構和電學性能進行瞭研究.X射線衍射結果顯示SrTiO3薄膜都呈現多晶立方鈣鈦礦結構.對比不同氣氛下製備齣的SrTiO3樣品電學測量結果,髮現在氧氣氛中退火後,樣品具有較低的漏電流和較好的介電性能,這可能是由于氧氣氛中退火減少瞭SrTiO3薄膜內氧空位的濃度引起的.
재불동적퇴화기분하,채용금속유궤물분해법재(111) Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료SrTiO3박막재료,병대기결구화전학성능진행료연구.X사선연사결과현시SrTiO3박막도정현다정립방개태광결구.대비불동기분하제비출적SrTiO3양품전학측량결과,발현재양기분중퇴화후,양품구유교저적루전류화교호적개전성능,저가능시유우양기분중퇴화감소료SrTiO3박막내양공위적농도인기적.
