科技信息
科技信息
과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2012年
25期
38-39
,共2页
郑泽勇%焦存柱%付雷%万光辉
鄭澤勇%焦存柱%付雷%萬光輝
정택용%초존주%부뢰%만광휘
PLC逻辑控制%模糊控制%反应溅射
PLC邏輯控製%模糊控製%反應濺射
PLC라집공제%모호공제%반응천사
磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断及数据计算动态调整磁控反应溅射的电压——流量对应关系,减轻人为因素对产品质量造成的影响.这是一套磁控反应溅射电压控制的通用程序,在氮化铝反应溅射使用中电压的稳定性由目前行业中的波动±10V减低到了±1V,解决了氮化铝反应溅射电压波动大的难题,保证了生产的稳定.
磁控反應濺射中的電壓波動是行業中普遍公認的難點,我們將PLC邏輯控製與先進的模糊控製結閤,建立模糊邏輯,根據理論及實踐經驗自行設計專傢繫統判斷程序,根據內置的邏輯判斷及數據計算動態調整磁控反應濺射的電壓——流量對應關繫,減輕人為因素對產品質量造成的影響.這是一套磁控反應濺射電壓控製的通用程序,在氮化鋁反應濺射使用中電壓的穩定性由目前行業中的波動±10V減低到瞭±1V,解決瞭氮化鋁反應濺射電壓波動大的難題,保證瞭生產的穩定.
자공반응천사중적전압파동시행업중보편공인적난점,아문장PLC라집공제여선진적모호공제결합,건립모호라집,근거이론급실천경험자행설계전가계통판단정서,근거내치적라집판단급수거계산동태조정자공반응천사적전압——류량대응관계,감경인위인소대산품질량조성적영향.저시일투자공반응천사전압공제적통용정서,재담화려반응천사사용중전압적은정성유목전행업중적파동±10V감저도료±1V,해결료담화려반응천사전압파동대적난제,보증료생산적은정.
