真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
3期
192-195
,共4页
杨帆%胡利勤%林贺%郑隆武%郭太良
楊帆%鬍利勤%林賀%鄭隆武%郭太良
양범%호리근%림하%정륭무%곽태량
刻蚀型介质%前栅%场发射
刻蝕型介質%前柵%場髮射
각식형개질%전책%장발사
采用刻蚀型介质制作前栅场发射器件.该器件中阴栅结构的形成是利用刻蚀工艺刻蚀介质层,一次性实现栅孔和阴极电极的连通,最后利用电泳沉积工艺转移碳纳米管制备成阴极发射点阵.该工艺避免了对准或套印,使前栅场发射器件制作工艺更简单,降低了成本,更容易实现大面积制作.场发射测试表明当阳压在1500和2000V时,栅压都能够有效地控制阴极的电子发射.
採用刻蝕型介質製作前柵場髮射器件.該器件中陰柵結構的形成是利用刻蝕工藝刻蝕介質層,一次性實現柵孔和陰極電極的連通,最後利用電泳沉積工藝轉移碳納米管製備成陰極髮射點陣.該工藝避免瞭對準或套印,使前柵場髮射器件製作工藝更簡單,降低瞭成本,更容易實現大麵積製作.場髮射測試錶明噹暘壓在1500和2000V時,柵壓都能夠有效地控製陰極的電子髮射.
채용각식형개질제작전책장발사기건.해기건중음책결구적형성시이용각식공예각식개질층,일차성실현책공화음겁전겁적련통,최후이용전영침적공예전이탄납미관제비성음겁발사점진.해공예피면료대준혹투인,사전책장발사기건제작공예경간단,강저료성본,경용역실현대면적제작.장발사측시표명당양압재1500화2000V시,책압도능구유효지공제음겁적전자발사.
