光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
1期
109-116
,共8页
朱勇建%那景新%潘卫清%李安虎%尹韶辉
硃勇建%那景新%潘衛清%李安虎%尹韶輝
주용건%나경신%반위청%리안호%윤소휘
干涉仪%条纹周期%动态调节%光楔
榦涉儀%條紋週期%動態調節%光楔
간섭의%조문주기%동태조절%광설
提出一种新型结构的通用型干涉仪,用于实现不同结构、不同形状的光学透镜、光学晶体等元件的快速目视观察与精确测量.该干涉仪利用可相对旋转的双光楔对条纹周期进行动态调制完成实时检测.以两块雅敏干涉平板为主体结构,在双光路中各自放入一对楔角完全相同的光楔对,建立条纹周期和条纹倾斜方向与光楔对相对旋转角度之间的关系,并采用光学晶体畴反转实时检测验证干涉仪的测量性能.试验结果表明,干涉仪的相位检测精度约为0.2 rad(λ/30),条纹周期(一对黑白条纹)为0.105～5.993mm/pair,光路中光楔对的相对转角可在0～179°调节.干涉仪具有完全对称的光路结构,由于较高的稳定性和抗干扰能力,可针对不同类型光学元件的结构特点进行条纹周期的实时调制,并可达到较高的检测精度.
提齣一種新型結構的通用型榦涉儀,用于實現不同結構、不同形狀的光學透鏡、光學晶體等元件的快速目視觀察與精確測量.該榦涉儀利用可相對鏇轉的雙光楔對條紋週期進行動態調製完成實時檢測.以兩塊雅敏榦涉平闆為主體結構,在雙光路中各自放入一對楔角完全相同的光楔對,建立條紋週期和條紋傾斜方嚮與光楔對相對鏇轉角度之間的關繫,併採用光學晶體疇反轉實時檢測驗證榦涉儀的測量性能.試驗結果錶明,榦涉儀的相位檢測精度約為0.2 rad(λ/30),條紋週期(一對黑白條紋)為0.105～5.993mm/pair,光路中光楔對的相對轉角可在0～179°調節.榦涉儀具有完全對稱的光路結構,由于較高的穩定性和抗榦擾能力,可針對不同類型光學元件的結構特點進行條紋週期的實時調製,併可達到較高的檢測精度.
제출일충신형결구적통용형간섭의,용우실현불동결구、불동형상적광학투경、광학정체등원건적쾌속목시관찰여정학측량.해간섭의이용가상대선전적쌍광설대조문주기진행동태조제완성실시검측.이량괴아민간섭평판위주체결구,재쌍광로중각자방입일대설각완전상동적광설대,건립조문주기화조문경사방향여광설대상대선전각도지간적관계,병채용광학정체주반전실시검측험증간섭의적측량성능.시험결과표명,간섭의적상위검측정도약위0.2 rad(λ/30),조문주기(일대흑백조문)위0.105～5.993mm/pair,광로중광설대적상대전각가재0～179°조절.간섭의구유완전대칭적광로결구,유우교고적은정성화항간우능력,가침대불동류형광학원건적결구특점진행조문주기적실시조제,병가체도교고적검측정도.
