材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
4期
36-38
,共3页
郝兰众%刘云杰%朱俊%张鹰
郝蘭衆%劉雲傑%硃俊%張鷹
학란음%류운걸%주준%장응
顶层%铁电极化%漏电流
頂層%鐵電極化%漏電流
정층%철전겁화%루전류
利用脉冲激光沉积(PLD)法,在LaAlO3(LAO)基片上外延生长了高质量的PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)薄膜.通过增加10nm厚的LAO顶层,所制备PZT薄膜的铁电剩余极化(Pr)由28.8μC/cm2增加为55.1μC/cm2.通过对微结构分析,表明薄膜电学性能的增强主要来源于LAO顶层对PZT薄膜表面形貌的优化.另外,与Pr不同,随LAO顶层厚度的增加,PZT薄膜的矫顽场单调增加.
利用脈遲激光沉積(PLD)法,在LaAlO3(LAO)基片上外延生長瞭高質量的PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)薄膜.通過增加10nm厚的LAO頂層,所製備PZT薄膜的鐵電剩餘極化(Pr)由28.8μC/cm2增加為55.1μC/cm2.通過對微結構分析,錶明薄膜電學性能的增彊主要來源于LAO頂層對PZT薄膜錶麵形貌的優化.另外,與Pr不同,隨LAO頂層厚度的增加,PZT薄膜的矯頑場單調增加.
이용맥충격광침적(PLD)법,재LaAlO3(LAO)기편상외연생장료고질량적PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)박막.통과증가10nm후적LAO정층,소제비PZT박막적철전잉여겁화(Pr)유28.8μC/cm2증가위55.1μC/cm2.통과대미결구분석,표명박막전학성능적증강주요래원우LAO정층대PZT박막표면형모적우화.령외,여Pr불동,수LAO정층후도적증가,PZT박막적교완장단조증가.
