东南大学学报（自然科学版）
東南大學學報（自然科學版）
동남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY
2011年
5期
929-933
,共5页
磁场传感器%MEMS%洛仑兹力%谐振
磁場傳感器%MEMS%洛崙玆力%諧振
자장전감기%MEMS%락륜자력%해진
以U型梁为主要结构设计了一种新型的洛伦兹力驱动的磁场传感器,检测在磁场中作切割磁力线运动的金属线上的感生电压,实现磁场测量.首先介绍了传感器的工作原理,并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析,接着用有限元软件建立结构模型并对其振动模态和频率进行了仿真.该MEMS磁场传感器采用标准的CMOS工艺加上后处理来实现.最后用多普勒仪对传感器的频率和振动幅度进行测试,并对传感器的感生电动势与磁场、电流的关系进行了测试.实验结果与理论分析一致,该传感器的灵敏度为14 mV/mT.该传感器结构简单,测试方便,可用于对mT级的磁场进行测试.
以U型樑為主要結構設計瞭一種新型的洛倫玆力驅動的磁場傳感器,檢測在磁場中作切割磁力線運動的金屬線上的感生電壓,實現磁場測量.首先介紹瞭傳感器的工作原理,併用振動理論對傳感器的受力及響應進行瞭分析,接著用有限元軟件建立結構模型併對其振動模態和頻率進行瞭倣真.該MEMS磁場傳感器採用標準的CMOS工藝加上後處理來實現.最後用多普勒儀對傳感器的頻率和振動幅度進行測試,併對傳感器的感生電動勢與磁場、電流的關繫進行瞭測試.實驗結果與理論分析一緻,該傳感器的靈敏度為14 mV/mT.該傳感器結構簡單,測試方便,可用于對mT級的磁場進行測試.
이U형량위주요결구설계료일충신형적락륜자력구동적자장전감기,검측재자장중작절할자력선운동적금속선상적감생전압,실현자장측량.수선개소료전감기적공작원리,병용진동이론대전감기적수력급향응진행료분석,접착용유한원연건건립결구모형병대기진동모태화빈솔진행료방진.해MEMS자장전감기채용표준적CMOS공예가상후처리래실현.최후용다보륵의대전감기적빈솔화진동폭도진행측시,병대전감기적감생전동세여자장、전류적관계진행료측시.실험결과여이론분석일치,해전감기적령민도위14 mV/mT.해전감기결구간단,측시방편,가용우대mT급적자장진행측시.
