表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2011年
4期
38-40,61
,共4页
廖国%何智兵%杨晓峰%陈太红%许华%李俊%谌加军
廖國%何智兵%楊曉峰%陳太紅%許華%李俊%諶加軍
료국%하지병%양효봉%진태홍%허화%리준%심가군
直流磁控溅射%Bi薄膜%工作气压%沉积速率%表面形貌
直流磁控濺射%Bi薄膜%工作氣壓%沉積速率%錶麵形貌
직류자공천사%Bi박막%공작기압%침적속솔%표면형모
采用直流磁控溅射方法在不同工作气压下制备了Bi薄膜,对薄膜的晶体结构、沉积速率、表面形貌和生长模式进行了研究,并对其晶粒尺寸的变化规律进行了分析.X射线衍射(XRD)结果表明Bi薄膜均为多晶斜六方结构.研究发现沉积速率随工作气压的升高先增大后减小.扫描电镜(SEM)图像显示随着工作气压的升高,小晶粒尺寸增大、大尺寸晶粒逐渐消失,薄膜变得疏松多孔；薄膜经历柱状-节榴状-楔形3种生长方式.
採用直流磁控濺射方法在不同工作氣壓下製備瞭Bi薄膜,對薄膜的晶體結構、沉積速率、錶麵形貌和生長模式進行瞭研究,併對其晶粒呎吋的變化規律進行瞭分析.X射線衍射(XRD)結果錶明Bi薄膜均為多晶斜六方結構.研究髮現沉積速率隨工作氣壓的升高先增大後減小.掃描電鏡(SEM)圖像顯示隨著工作氣壓的升高,小晶粒呎吋增大、大呎吋晶粒逐漸消失,薄膜變得疏鬆多孔；薄膜經歷柱狀-節榴狀-楔形3種生長方式.
채용직류자공천사방법재불동공작기압하제비료Bi박막,대박막적정체결구、침적속솔、표면형모화생장모식진행료연구,병대기정립척촌적변화규률진행료분석.X사선연사(XRD)결과표명Bi박막균위다정사륙방결구.연구발현침적속솔수공작기압적승고선증대후감소.소묘전경(SEM)도상현시수착공작기압적승고,소정립척촌증대、대척촌정립축점소실,박막변득소송다공；박막경력주상-절류상-설형3충생장방식.
