重庆科技学院学报（自然科学版）
重慶科技學院學報（自然科學版）
중경과기학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2011年
1期
123-124
,共2页
郭冬娇%刘行冰%张玉芹%周妮妮%邓小玲
郭鼕嬌%劉行冰%張玉芹%週妮妮%鄧小玲
곽동교%류행빙%장옥근%주니니%산소령
溶胶-凝胶%BZT薄膜%退火温度：微结构
溶膠-凝膠%BZT薄膜%退火溫度：微結構
용효-응효%BZT박막%퇴화온도：미결구
采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜.X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其他物相存在.光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生.
採用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜.X射線衍射分析錶明,該BZT薄膜為鈣鈦礦結構而無其他物相存在.光學顯微鏡分析結果錶明,退火溫度為900℃時,BZT薄膜錶麵光滑平整,無裂紋產生.
채용Sol-gel법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)박막.X사선연사분석표명,해BZT박막위개태광결구이무기타물상존재.광학현미경분석결과표명,퇴화온도위900℃시,BZT박막표면광활평정,무렬문산생.
