电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2011年
6期
528-532
,共5页
集成电路静电放电模拟器%短路电流波形%校准%测量不确定度
集成電路靜電放電模擬器%短路電流波形%校準%測量不確定度
집성전로정전방전모의기%단로전류파형%교준%측량불학정도
集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定.
集成電路靜電放電模擬器是微電子元器件可靠性篩選的重要設備,通過模擬靜電放電對器件的抗靜電能力進行篩選.本文在分析靜電放電模擬器工作原理的基礎上,利用高頻電流探頭和高速率採樣示波器實現瞭對模擬器的校準.文章還併結閤校準實例,對測量不確定度進行瞭評定.
집성전로정전방전모의기시미전자원기건가고성사선적중요설비,통과모의정전방전대기건적항정전능력진행사선.본문재분석정전방전모의기공작원리적기출상,이용고빈전류탐두화고속솔채양시파기실현료대모의기적교준.문장환병결합교준실례,대측량불학정도진행료평정.
