硅谷
硅穀
규곡
SILICON VALLEY
2011年
8期
59-60
,共2页
图像处理%缺陷检测%IC探针
圖像處理%缺陷檢測%IC探針
도상처리%결함검측%IC탐침
提出一套针对微小探针表面缺陷的检测算法流程,实验结果表明该算法可以有效地提取探针表面缺陷特征,并进行识别和分类.
提齣一套針對微小探針錶麵缺陷的檢測算法流程,實驗結果錶明該算法可以有效地提取探針錶麵缺陷特徵,併進行識彆和分類.
제출일투침대미소탐침표면결함적검측산법류정,실험결과표명해산법가이유효지제취탐침표면결함특정,병진행식별화분류.
