上海金属
上海金屬
상해금속
SHANGHAI METALS
2009年
6期
32-37
,共6页
类金刚石膜%磁控溅射%脉冲等离子增强化学气相沉积%高速工具钢
類金剛石膜%磁控濺射%脈遲等離子增彊化學氣相沉積%高速工具鋼
류금강석막%자공천사%맥충등리자증강화학기상침적%고속공구강
设计了过渡层和梯度膜结构,采用PVD磁控溅射工艺和PVD磁控溅射+PECVD(脉冲等离子增强化学气相沉积)复合工艺在高速工具钢W6Mo5Cr4V2表面制备不同的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜:Ti过渡层+DLC膜以及CrN+CrNC+CrC+DLC(掺杂Cr)硬质膜.对这两种膜层的成分、结构、形貌和力学性能的对比分析发现,前者表面粗糙度小,但是后者的综合力学性能更好.
設計瞭過渡層和梯度膜結構,採用PVD磁控濺射工藝和PVD磁控濺射+PECVD(脈遲等離子增彊化學氣相沉積)複閤工藝在高速工具鋼W6Mo5Cr4V2錶麵製備不同的類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)膜:Ti過渡層+DLC膜以及CrN+CrNC+CrC+DLC(摻雜Cr)硬質膜.對這兩種膜層的成分、結構、形貌和力學性能的對比分析髮現,前者錶麵粗糙度小,但是後者的綜閤力學性能更好.
설계료과도층화제도막결구,채용PVD자공천사공예화PVD자공천사+PECVD(맥충등리자증강화학기상침적)복합공예재고속공구강W6Mo5Cr4V2표면제비불동적류금강석(Diamond-like Carbon,DLC)막:Ti과도층+DLC막이급CrN+CrNC+CrC+DLC(참잡Cr)경질막.대저량충막층적성분、결구、형모화역학성능적대비분석발현,전자표면조조도소,단시후자적종합역학성능경호.
