光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
5期
1358-1362
,共5页
光学器件%阶跃滤光片%微型%分光%光刻
光學器件%階躍濾光片%微型%分光%光刻
광학기건%계약려광편%미형%분광%광각
为了消除机械掩模的尺寸限制和阴影效应,采用基于光刻掩膜的组合刻蚀法来制备阶跃滤光片,并成功地实现了16×1通道阶跃滤光片式微型分光器件的制备,该分光器件中滤光片单元的宽度只有90 μm,总体尺寸不到2 mm.各滤光片通道分布在632.4 nm到739.6 nm之间,带宽均小于2.9 nm,透过率均高于70%.这样的阶跃滤光片最小单元尺寸可达微米量级,阴影效应可减小到微米甚至亚微米量级,与电荷耦合器件(CCD)完全匹配,可以作为微型分光器件来构建应用于空间等领域的微型光谱系统,从而促进相应光谱仪器的微型化.
為瞭消除機械掩模的呎吋限製和陰影效應,採用基于光刻掩膜的組閤刻蝕法來製備階躍濾光片,併成功地實現瞭16×1通道階躍濾光片式微型分光器件的製備,該分光器件中濾光片單元的寬度隻有90 μm,總體呎吋不到2 mm.各濾光片通道分佈在632.4 nm到739.6 nm之間,帶寬均小于2.9 nm,透過率均高于70%.這樣的階躍濾光片最小單元呎吋可達微米量級,陰影效應可減小到微米甚至亞微米量級,與電荷耦閤器件(CCD)完全匹配,可以作為微型分光器件來構建應用于空間等領域的微型光譜繫統,從而促進相應光譜儀器的微型化.
위료소제궤계엄모적척촌한제화음영효응,채용기우광각엄막적조합각식법래제비계약려광편,병성공지실현료16×1통도계약려광편식미형분광기건적제비,해분광기건중려광편단원적관도지유90 μm,총체척촌불도2 mm.각려광편통도분포재632.4 nm도739.6 nm지간,대관균소우2.9 nm,투과솔균고우70%.저양적계약려광편최소단원척촌가체미미량급,음영효응가감소도미미심지아미미량급,여전하우합기건(CCD)완전필배,가이작위미형분광기건래구건응용우공간등영역적미형광보계통,종이촉진상응광보의기적미형화.
