CAJ | 학술논문

对区熔Si单晶样品的轴向、径向以及生长界面的电阻率进行了测试,分析了影响电阻率均匀性的主要因素.结果表明,通常认为的影响电阻率均匀性的因素,并不是决定性因素.本文从FZ单晶在生长过程中,杂质在轴向和侧向分凝的角度进行分析,认为由于晶体原子的侧向生长,产生的杂质侧向分凝,是电阻率分布不均匀的主要原因.大量生产实验表明,生长过程中改变常规生长参数对提高均匀性的作用并不明显,要想从本质上提高电阻率径向均匀性,只能尝试非常规的技术.
대구용Si단정양품적축향、경향이급생장계면적전조솔진행료측시,분석료영향전조솔균균성적주요인소.결과표명,통상인위적영향전조솔균균성적인소,병불시결정성인소.본문종FZ단정재생장과정중,잡질재축향화측향분응적각도진행분석,인위유우정체원자적측향생장,산생적잡질측향분응,시전조솔분포불균균적주요원인.대량생산실험표명,생장과정중개변상규생장삼수대제고균균성적작용병불명현,요상종본질상제고전조솔경향균균성,지능상시비상규적기술.