CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构
CrTiAlCN다원다층제도막적제비급기결구
Growth and microstructure of CrTiAlCN multi-composite thin films
  • 万方数据
    中国有色金属学报 중국유색금속학보
    THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
    2009年 2期 259-264 ,共6页

    林松盛%代明江%朱霞高%李洪武%侯惠君%林凯生%况敏%戴达煌

    림송성%대명강%주하고%리홍무%후혜군%림개생%황민%대체황

    CrTiAlCN薄膜%磁控溅射%离子束辅助 CrTiAlCN薄膜%磁控濺射%離子束輔助
    CrTiAlCN박막%자공천사%리자속보조
    采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究.结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/ CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31 GPa,膜/基结合力大于80 N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良.
    채용중빈반응자공천사、리자속보조방법침적CrTiAlCN다원경질박막,이용소묘전경、아헐전자보、투사전경급X사선연사등기술대막층적과도층、계면급미관결구진행연구.결과표명:침적제비적막층위다층제도과도결구,성분심도분포급상결구분석증실,소제비적다원다층제도막여소설계적기체/Cr/CrN/CrTiAlN/ CrTiAlCN결구상문합;재제도과도중,불동층지간계면체현위점변과도과정;침적제비적다원다층제도막경도고체26.31 GPa,막/기결합력대우80 N,마찰인수저지0.113,역학성능우량.
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