传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
9期
118-120
,共3页
微型直接甲醇燃料电池%微电子机械系统%多孔硅%化学镀
微型直接甲醇燃料電池%微電子機械繫統%多孔硅%化學鍍
미형직접갑순연료전지%미전자궤계계통%다공규%화학도
为了进一步简化微型直接甲醇燃料电池(μDMFC)系统,便于电池批量生产,采用MEMS技术制作μDMFC.电池的制作包括传统的MEMS工艺,如,氧化、光刻、湿法刻蚀、硅-玻璃键合等方法,还包括一种新的催化电极制备方法,即采用硅片阳极氧化的方法.首先,制得多孔硅(PS)作为催化电极的基底,然后,采用化学镀法分别在PS上沉积出Pt阴极催化电极和Pt-Ru阳极催化电极.PS具有巨大的比表面积,使化学镀的催化剂层拥有不连续的三维结构,能显著增加催化剂的活性面积,同时,化学镀液中贵金属的利用率高达95%,可以有效地节约贵金属用量.研究中采用扫描电镜(SEM),能量色散X射线分析(EDX)对催化剂层的形貌和成分等物理性能进行了分析.
為瞭進一步簡化微型直接甲醇燃料電池(μDMFC)繫統,便于電池批量生產,採用MEMS技術製作μDMFC.電池的製作包括傳統的MEMS工藝,如,氧化、光刻、濕法刻蝕、硅-玻璃鍵閤等方法,還包括一種新的催化電極製備方法,即採用硅片暘極氧化的方法.首先,製得多孔硅(PS)作為催化電極的基底,然後,採用化學鍍法分彆在PS上沉積齣Pt陰極催化電極和Pt-Ru暘極催化電極.PS具有巨大的比錶麵積,使化學鍍的催化劑層擁有不連續的三維結構,能顯著增加催化劑的活性麵積,同時,化學鍍液中貴金屬的利用率高達95%,可以有效地節約貴金屬用量.研究中採用掃描電鏡(SEM),能量色散X射線分析(EDX)對催化劑層的形貌和成分等物理性能進行瞭分析.
위료진일보간화미형직접갑순연료전지(μDMFC)계통,편우전지비량생산,채용MEMS기술제작μDMFC.전지적제작포괄전통적MEMS공예,여,양화、광각、습법각식、규-파리건합등방법,환포괄일충신적최화전겁제비방법,즉채용규편양겁양화적방법.수선,제득다공규(PS)작위최화전겁적기저,연후,채용화학도법분별재PS상침적출Pt음겁최화전겁화Pt-Ru양겁최화전겁.PS구유거대적비표면적,사화학도적최화제층옹유불련속적삼유결구,능현저증가최화제적활성면적,동시,화학도액중귀금속적이용솔고체95%,가이유효지절약귀금속용량.연구중채용소묘전경(SEM),능량색산X사선분석(EDX)대최화제층적형모화성분등물이성능진행료분석.
