江西科学
江西科學
강서과학
JIANGXI SCIENCE
2008年
5期
777-780
,共4页
脉冲激光沉积系统%纳米粒子%薄膜材料%XRD
脈遲激光沉積繫統%納米粒子%薄膜材料%XRD
맥충격광침적계통%납미입자%박막재료%XRD
介绍了Ge纳米粒子的特性,及利用脉冲激光沉积系统(PLD)制备Ge纳米粒子嵌入非晶SiO2薄膜中的方法、理论依据和工艺条件及结果.X射线衍射及晶体分析软件确定了锗纳米粒子在600℃中退火时的晶格常数变小而衍射强度增加,其晶格常数减小可能是由于锗的周围氧化生成氧化锗壳层包围并挤压Ge纳米粒子所致.
介紹瞭Ge納米粒子的特性,及利用脈遲激光沉積繫統(PLD)製備Ge納米粒子嵌入非晶SiO2薄膜中的方法、理論依據和工藝條件及結果.X射線衍射及晶體分析軟件確定瞭鍺納米粒子在600℃中退火時的晶格常數變小而衍射彊度增加,其晶格常數減小可能是由于鍺的週圍氧化生成氧化鍺殼層包圍併擠壓Ge納米粒子所緻.
개소료Ge납미입자적특성,급이용맥충격광침적계통(PLD)제비Ge납미입자감입비정SiO2박막중적방법、이론의거화공예조건급결과.X사선연사급정체분석연건학정료타납미입자재600℃중퇴화시적정격상수변소이연사강도증가,기정격상수감소가능시유우타적주위양화생성양화타각층포위병제압Ge납미입자소치.