功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
6期
593-598
,共6页
MEMS集成探针阵列%微纳摩擦%尺寸效应%温度效应
MEMS集成探針陣列%微納摩抆%呎吋效應%溫度效應
MEMS집성탐침진렬%미납마찰%척촌효응%온도효응
在微纳米尺度下,摩擦行为受到针尖尺寸和温度两个重要参数的影响.本研究利用基于Si的微加工制造技术制作了三种不同尺寸并且具有加热功能的悬臂梁探针阵列,用来研究在聚合物 PMMA薄膜上摩擦的针尖尺寸效应和温度效应.在PMMA薄膜中存在着两种显著的结构转变过程,包括玻璃态转变(α)和结构驰豫过程(β),这两个过程一直是目前人们广泛研究的热点.本次实验中通过加热针尖从摩擦的变化中检测到PMMA薄膜中的玻璃转变过程和结构驰豫过程,实验结果清楚表明了微纳摩擦中针尖的尺寸和温度的效应.
在微納米呎度下,摩抆行為受到針尖呎吋和溫度兩箇重要參數的影響.本研究利用基于Si的微加工製造技術製作瞭三種不同呎吋併且具有加熱功能的懸臂樑探針陣列,用來研究在聚閤物 PMMA薄膜上摩抆的針尖呎吋效應和溫度效應.在PMMA薄膜中存在著兩種顯著的結構轉變過程,包括玻璃態轉變(α)和結構馳豫過程(β),這兩箇過程一直是目前人們廣汎研究的熱點.本次實驗中通過加熱針尖從摩抆的變化中檢測到PMMA薄膜中的玻璃轉變過程和結構馳豫過程,實驗結果清楚錶明瞭微納摩抆中針尖的呎吋和溫度的效應.
재미납미척도하,마찰행위수도침첨척촌화온도량개중요삼수적영향.본연구이용기우Si적미가공제조기술제작료삼충불동척촌병차구유가열공능적현비량탐침진렬,용래연구재취합물 PMMA박막상마찰적침첨척촌효응화온도효응.재PMMA박막중존재착량충현저적결구전변과정,포괄파리태전변(α)화결구치예과정(β),저량개과정일직시목전인문엄범연구적열점.본차실험중통과가열침첨종마찰적변화중검측도PMMA박막중적파리전변과정화결구치예과정,실험결과청초표명료미납마찰중침첨적척촌화온도적효응.