红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
5期
721-724
,共4页
王艳艳%秦福文%马世猛%吴爱民%王叶安
王豔豔%秦福文%馬世猛%吳愛民%王葉安
왕염염%진복문%마세맹%오애민%왕협안
蓝宝石%氮化%氮化镓%等离子体
藍寶石%氮化%氮化鎵%等離子體
람보석%담화%담화가%등리자체
在自行设计研制的电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-EMOCVD)装置上生长氮化镓(GaN)薄膜,以氮等离子体为氮源,三乙基镓(TEG)为镓源,蓝宝石(α-Al2O3)为衬底.通过反射高能电子衍射、原子力显微镜、射线衍射实验数据分析,研究了ECR等离子体所产生的活性氢源和氮源对蓝宝石(α-Al2O3)村底的氮化作用,结果表明:在ECR等离子体中,不掺入氢气,温度较低时可以明显提高α-Al2O3衬底的氮化效果,获得平整的氮化层,且生长的氮化镓缓冲层质量是最好的.
在自行設計研製的電子迴鏇共振等離子體增彊金屬有機物化學氣相沉積(ECR-EMOCVD)裝置上生長氮化鎵(GaN)薄膜,以氮等離子體為氮源,三乙基鎵(TEG)為鎵源,藍寶石(α-Al2O3)為襯底.通過反射高能電子衍射、原子力顯微鏡、射線衍射實驗數據分析,研究瞭ECR等離子體所產生的活性氫源和氮源對藍寶石(α-Al2O3)村底的氮化作用,結果錶明:在ECR等離子體中,不摻入氫氣,溫度較低時可以明顯提高α-Al2O3襯底的氮化效果,穫得平整的氮化層,且生長的氮化鎵緩遲層質量是最好的.
재자행설계연제적전자회선공진등리자체증강금속유궤물화학기상침적(ECR-EMOCVD)장치상생장담화가(GaN)박막,이담등리자체위담원,삼을기가(TEG)위가원,람보석(α-Al2O3)위츤저.통과반사고능전자연사、원자력현미경、사선연사실험수거분석,연구료ECR등리자체소산생적활성경원화담원대람보석(α-Al2O3)촌저적담화작용,결과표명:재ECR등리자체중,불참입경기,온도교저시가이명현제고α-Al2O3츤저적담화효과,획득평정적담화층,차생장적담화가완충층질량시최호적.
