光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
9期
1683-1686
,共4页
尚光强%王聪娟%袁磊%贺洪波%范正修%邵建达
尚光彊%王聰娟%袁磊%賀洪波%範正脩%邵建達
상광강%왕총연%원뢰%하홍파%범정수%소건체
氧化铪薄膜%薄膜退火%抗激光损伤阈值%薄膜吸收
氧化鉿薄膜%薄膜退火%抗激光損傷閾值%薄膜吸收
양화협박막%박막퇴화%항격광손상역치%박막흡수
利用电子束蒸发和光电极值监控技术制备了氧化铪薄膜,并分别用两种后处理方法(空气中退火和氧等离子体轰击)对样品进行了处理.然后,对样品的透过率、吸收和抗激光损伤阈值进行了测试分析.实验结果表明,两种后处理方法都能不同程度地降低了氧化铪薄膜的吸收损耗、提高了抗激光损伤阈值.实验结果还表明,氧等离子体轰击的后处理效果明显优于热退火,样品的吸收平均值在氧等离子体后处理前后分别为34.8 ppm和9.0 ppm,而基频(1 064 nm)激光损伤阈值分别为10.0 J/cm2和21.4 J/cm2.
利用電子束蒸髮和光電極值鑑控技術製備瞭氧化鉿薄膜,併分彆用兩種後處理方法(空氣中退火和氧等離子體轟擊)對樣品進行瞭處理.然後,對樣品的透過率、吸收和抗激光損傷閾值進行瞭測試分析.實驗結果錶明,兩種後處理方法都能不同程度地降低瞭氧化鉿薄膜的吸收損耗、提高瞭抗激光損傷閾值.實驗結果還錶明,氧等離子體轟擊的後處理效果明顯優于熱退火,樣品的吸收平均值在氧等離子體後處理前後分彆為34.8 ppm和9.0 ppm,而基頻(1 064 nm)激光損傷閾值分彆為10.0 J/cm2和21.4 J/cm2.
이용전자속증발화광전겁치감공기술제비료양화협박막,병분별용량충후처리방법(공기중퇴화화양등리자체굉격)대양품진행료처리.연후,대양품적투과솔、흡수화항격광손상역치진행료측시분석.실험결과표명,량충후처리방법도능불동정도지강저료양화협박막적흡수손모、제고료항격광손상역치.실험결과환표명,양등리자체굉격적후처리효과명현우우열퇴화,양품적흡수평균치재양등리자체후처리전후분별위34.8 ppm화9.0 ppm,이기빈(1 064 nm)격광손상역치분별위10.0 J/cm2화21.4 J/cm2.
