微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
6期
63-64
,共2页
向小龙%彭志虹%朱晓明%罗卫国%赵加宝%罗亮
嚮小龍%彭誌虹%硃曉明%囉衛國%趙加寶%囉亮
향소룡%팽지홍%주효명%라위국%조가보%라량
闭管扩散技术%扩散均匀性
閉管擴散技術%擴散均勻性
폐관확산기술%확산균균성
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺.
介紹瞭一種用于晶體硅太暘能電池p-n結製造的閉管擴散技術,它主要是針對目前使用的開管擴散技術的不足而提齣的,實踐證明,該技術不僅擴散均勻性優,而且節源、節能、環保,同時它還可以運用于其它半導體材料的擴散摻雜工藝.
개소료일충용우정체규태양능전지p-n결제조적폐관확산기술,타주요시침대목전사용적개관확산기술적불족이제출적,실천증명,해기술불부확산균균성우,이차절원、절능、배보,동시타환가이운용우기타반도체재료적확산참잡공예.
