兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2006年
4期
5-7
,共3页
宋永刚%秦会峰%胡利方%鲁晓莹%孟庆森
宋永剛%秦會峰%鬍利方%魯曉瑩%孟慶森
송영강%진회봉%호리방%로효형%맹경삼
阳极键合%硼硅玻璃%硅%过渡区
暘極鍵閤%硼硅玻璃%硅%過渡區
양겁건합%붕규파리%규%과도구
硼硅玻璃与硅进行阳极键合试验,通过扫描电镜及能谱分析对键合界面的微观结构进行分析,结果表明:玻璃/硅的键合界面有明显的中间过渡层生成;在电场力作用下玻璃耗尽层中的氧负离子向界面迁移扩散并与硅发生氧化反应是形成中间过渡层的主要原因,界面过渡层的形成是玻璃/硅界面键合实现连接的基本条件.
硼硅玻璃與硅進行暘極鍵閤試驗,通過掃描電鏡及能譜分析對鍵閤界麵的微觀結構進行分析,結果錶明:玻璃/硅的鍵閤界麵有明顯的中間過渡層生成;在電場力作用下玻璃耗儘層中的氧負離子嚮界麵遷移擴散併與硅髮生氧化反應是形成中間過渡層的主要原因,界麵過渡層的形成是玻璃/硅界麵鍵閤實現連接的基本條件.
붕규파리여규진행양겁건합시험,통과소묘전경급능보분석대건합계면적미관결구진행분석,결과표명:파리/규적건합계면유명현적중간과도층생성;재전장력작용하파리모진층중적양부리자향계면천이확산병여규발생양화반응시형성중간과도층적주요원인,계면과도층적형성시파리/규계면건합실현련접적기본조건.
