应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2006年
1期
26-28
,共3页
脉冲激光沉积法%ZnO薄膜%衬底温度
脈遲激光沉積法%ZnO薄膜%襯底溫度
맥충격광침적법%ZnO박막%츤저온도
用脉冲激光沉积(PLD)的方法制备ZnO薄膜.通过对薄膜的X射线衍射(XRD)测试,分析了不同衬底温度下薄膜的结晶状况;通过对薄膜的光致发光谱线的测试,分析了不同衬底温度下薄膜的光致发光状况,同时进行了薄膜表面结构的测试.结果显示,衬底温度为400℃的样品结晶质量较高,具有C轴的择优取向,同时发光性能达到相对优化.
用脈遲激光沉積(PLD)的方法製備ZnO薄膜.通過對薄膜的X射線衍射(XRD)測試,分析瞭不同襯底溫度下薄膜的結晶狀況;通過對薄膜的光緻髮光譜線的測試,分析瞭不同襯底溫度下薄膜的光緻髮光狀況,同時進行瞭薄膜錶麵結構的測試.結果顯示,襯底溫度為400℃的樣品結晶質量較高,具有C軸的擇優取嚮,同時髮光性能達到相對優化.
용맥충격광침적(PLD)적방법제비ZnO박막.통과대박막적X사선연사(XRD)측시,분석료불동츤저온도하박막적결정상황;통과대박막적광치발광보선적측시,분석료불동츤저온도하박막적광치발광상황,동시진행료박막표면결구적측시.결과현시,츤저온도위400℃적양품결정질량교고,구유C축적택우취향,동시발광성능체도상대우화.
