光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2006年
1期
94-99
,共6页
微定位平台%压电陶瓷驱动器%动态性能
微定位平檯%壓電陶瓷驅動器%動態性能
미정위평태%압전도자구동기%동태성능
研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台,该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨率等优点.为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出.考虑驱动电路的影响,建立了微定位平台的机电耦合模型.通过试验研究了微定位平台的静动态特性,试验结果表明微定位平台的分辨率为5 nm,固有频率分别为143 Hz和180 Hz.该微定位平台可应用于纳米级的微定位.
研製瞭一檯壓電陶瓷驅動和彈性鉸鏈導嚮的一體化微定位平檯,該微定位平檯具有高剛度、高響應速度和高分辨率等優點.為瞭剋服壓電陶瓷驅動器伸長量較小的不足,採用槓桿放大機構增加微定位平檯的位移輸齣.攷慮驅動電路的影響,建立瞭微定位平檯的機電耦閤模型.通過試驗研究瞭微定位平檯的靜動態特性,試驗結果錶明微定位平檯的分辨率為5 nm,固有頻率分彆為143 Hz和180 Hz.該微定位平檯可應用于納米級的微定位.
연제료일태압전도자구동화탄성교련도향적일체화미정위평태,해미정위평태구유고강도、고향응속도화고분변솔등우점.위료극복압전도자구동기신장량교소적불족,채용강간방대궤구증가미정위평태적위이수출.고필구동전로적영향,건립료미정위평태적궤전우합모형.통과시험연구료미정위평태적정동태특성,시험결과표명미정위평태적분변솔위5 nm,고유빈솔분별위143 Hz화180 Hz.해미정위평태가응용우납미급적미정위.
