低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2006年
1期
27-29
,共3页
孙福楠%岳成君%李健%吴江红
孫福楠%嶽成君%李健%吳江紅
손복남%악성군%리건%오강홍
磷烷%合成%吸附%低温精馏%超纯净化
燐烷%閤成%吸附%低溫精餾%超純淨化
린완%합성%흡부%저온정류%초순정화
对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别.吸附-低温精馏-超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术"瓶颈".
對燐烷的閤成、淨化等方法進行瞭詳細的介紹,指齣隨著IC製造業的髮展,傳統的燐烷淨化工藝已成為歷史,新的淨化方法在原理上同以往的工藝有著本質的區彆.吸附-低溫精餾-超純終耑淨化聯閤工藝是噹今燐烷生產的髮展方嚮,指齣瞭我國未來幾年電子氣體淨化需要剋服的技術"瓶頸".
대린완적합성、정화등방법진행료상세적개소,지출수착IC제조업적발전,전통적린완정화공예이성위역사,신적정화방법재원리상동이왕적공예유착본질적구별.흡부-저온정류-초순종단정화연합공예시당금린완생산적발전방향,지출료아국미래궤년전자기체정화수요극복적기술"병경".
