分层蒸镀制备聚酰亚胺自支撑膜及其特性研究
분층증도제비취선아알자지탱막급기특성연구
Preparation of ultra-thin freestanding polyimide films with sequential evaporation technique
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2005年 10期 1528-1532 ,共5页

    戚同非%吴永刚%王勇%张莉%林小燕%田国勋%焦宏飞%陈玲燕

    척동비%오영강%왕용%장리%림소연%전국훈%초굉비%진령연

    分层蒸镀%单体%聚酰亚胺%自支撑膜%表面形貌 分層蒸鍍%單體%聚酰亞胺%自支撐膜%錶麵形貌
    분층증도%단체%취선아알%자지탱막%표면형모
    采用分层蒸镀法,在玻璃基片上依次蒸镀二氨基二苯醚(ODA)和均苯四甲酸二酐(PMDA)两种单体,然后在空气环境中对样品进行不同温度和时间的热亚胺化处理,使二者在交界面上反应生成聚酰亚胺.经加热150 ℃ 1 h然后经350 ℃ 2 h处理的样品,在脱膜后能制备出直径1.8 cm,厚度为100 nm的聚酰亚胺自支撑薄膜.用FTIR测量了自支撑薄膜的红外光谱,特征吸收峰的分析表明薄膜已基本上完全亚胺化.用原子力显微镜分析了浮法玻璃衬底上聚酰亚胺薄膜的表面形貌,结果表明以ODA作为内层制备的膜层表面更光滑平整.
    채용분층증도법,재파리기편상의차증도이안기이분미(ODA)화균분사갑산이항(PMDA)량충단체,연후재공기배경중대양품진행불동온도화시간적열아알화처리,사이자재교계면상반응생성취선아알.경가열150 ℃ 1 h연후경350 ℃ 2 h처리적양품,재탈막후능제비출직경1.8 cm,후도위100 nm적취선아알자지탱박막.용FTIR측량료자지탱박막적홍외광보,특정흡수봉적분석표명박막이기본상완전아알화.용원자력현미경분석료부법파리츤저상취선아알박막적표면형모,결과표명이ODA작위내층제비적막층표면경광활평정.
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