粉末冶金工业
粉末冶金工業
분말야금공업
POWDER METALLURGY INDUSTRY
2005年
6期
26-32
,共7页
孙心瑗%周灵平%李宇农%余晓光
孫心瑗%週靈平%李宇農%餘曉光
손심원%주령평%리우농%여효광
HFCVD法%金刚石%灯丝%碳化%电阻
HFCVD法%金剛石%燈絲%碳化%電阻
HFCVD법%금강석%등사%탄화%전조
热丝化学气相(CVD)法沉积金刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视,然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的"污染"影响了金刚石沉积膜的质量,本文就热丝法中三种常用灯丝(钨丝、钼丝和铼丝)的高温行为的研究现状进行了综合评述.在此基础上,提出了钽丝表面包钨的新实验,以进一步指导热丝CVD法沉积高质量的金刚石.
熱絲化學氣相(CVD)法沉積金剛石具有其它沉積方法所無法比擬的優勢而受到重視,然而在高溫沉積過程中燈絲容易髮生形變和揮髮所帶來的"汙染"影響瞭金剛石沉積膜的質量,本文就熱絲法中三種常用燈絲(鎢絲、鉬絲和錸絲)的高溫行為的研究現狀進行瞭綜閤評述.在此基礎上,提齣瞭鐽絲錶麵包鎢的新實驗,以進一步指導熱絲CVD法沉積高質量的金剛石.
열사화학기상(CVD)법침적금강석구유기타침적방법소무법비의적우세이수도중시,연이재고온침적과정중등사용역발생형변화휘발소대래적"오염"영향료금강석침적막적질량,본문취열사법중삼충상용등사(오사、목사화래사)적고온행위적연구현상진행료종합평술.재차기출상,제출료단사표면포오적신실험,이진일보지도열사CVD법침적고질량적금강석.
