声表器件压电单晶基片表面损伤的电子显微研究
성표기건압전단정기편표면손상적전자현미연구
Study on surface damage in single crystal wafers of SAW device by electron microscope
  • 万方数据
    电子显微学报 전자현미학보
    JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
    2005年 4期 353 ,共1页

    荣丽梅%常嗣和%杨谟华

    영려매%상사화%양모화





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