航空制造技术
航空製造技術
항공제조기술
AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY
2005年
3期
88-91
,共4页
张华芳%武洪臣%蒋艳莉%马国佳%彭丽平
張華芳%武洪臣%蔣豔莉%馬國佳%彭麗平
장화방%무홍신%장염리%마국가%팽려평
动态混合离子注入沉积%TiN膜%纳米划痕%结合性能
動態混閤離子註入沉積%TiN膜%納米劃痕%結閤性能
동태혼합리자주입침적%TiN막%납미화흔%결합성능
采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层.用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌.对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著.
採用離子註入、沉積、動態混閤註入沉積工藝,在硅基體上製備TiN膜層.用納米劃痕法檢測成膜質量,用掃描電鏡觀察劃痕形貌.對比分析結果錶明,動態混閤離子註入沉積工藝對提高膜層與基體的結閤性能效果顯著.
채용리자주입、침적、동태혼합주입침적공예,재규기체상제비TiN막층.용납미화흔법검측성막질량,용소묘전경관찰화흔형모.대비분석결과표명,동태혼합리자주입침적공예대제고막층여기체적결합성능효과현저.
