CAJ | 학술논문

应用FTIR技术研究了不同剂量(1×1017～1.17×1019n/cm2)快中子辐照直拉硅(CZ-Si)的辐照缺陷和间隙氧在不同温度热处理时的行为.发现随辐照剂量的增加未退火的样品的间隙氧含量迅速下降,并且间隙氧的下降明显分为3个阶段.FTIR谱表明快中子辐照后主要的辐照缺陷为VO(829 cm-1)复合体.在低温条件下热处理300℃829cm-1(VO)开始消失并出现了825 cm-1(V2O2)、833cm-1(V3O2)、和840cm-1(V2O)和919cm-1(I2O2)四个红外吸收峰,退火温度升高到500℃后只剩下了825cm-1和919cm-1两个缺陷-杂质复合体的红外吸收峰.高温1100℃0.5h辐照引入的缺陷-杂质复合体很快的被消除.延长退火时间辐照样品和未辐照样品的间隙氧沉淀速度有很大的不同.
응용FTIR기술연구료불동제량(1×1017～1.17×1019n/cm2)쾌중자복조직랍규(CZ-Si)적복조결함화간극양재불동온도열처리시적행위.발현수복조제량적증가미퇴화적양품적간극양함량신속하강,병차간극양적하강명현분위3개계단.FTIR보표명쾌중자복조후주요적복조결함위VO(829 cm-1)복합체.재저온조건하열처리300℃829cm-1(VO)개시소실병출현료825 cm-1(V2O2)、833cm-1(V3O2)、화840cm-1(V2O)화919cm-1(I2O2)사개홍외흡수봉,퇴화온도승고도500℃후지잉하료825cm-1화919cm-1량개결함-잡질복합체적홍외흡수봉.고온1100℃0.5h복조인입적결함-잡질복합체흔쾌적피소제.연장퇴화시간복조양품화미복조양품적간극양침정속도유흔대적불동.