高精度电阻、电容形成技术
고정도전조、전용형성기술
High Precision Resistor and Capacitor Fabrication Technology
  • 万方数据
    电子与封装 전자여봉장
    EIECTRONICS AND PACKAGING
    2004年 2期 50-53,5 ,共5页

    吴晓鸫%徐政%何磊

    오효동%서정%하뢰

    掺杂%扩散%注入%溅射 摻雜%擴散%註入%濺射
    참잡%확산%주입%천사
    本文介绍了几种集成电路物工艺中高精度电阻和电容的制作方法.
    본문개소료궤충집성전로물공예중고정도전조화전용적제작방법.
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