双层金属化工艺中绝缘介质的SEM研究
쌍층금속화공예중절연개질적SEM연구
The Sem Study of Insulation Medium in Doublelevel Metelization Technology
  • 万方数据
    微处理机 미처리궤
    MICROPROCESSORS
    2003年 3期 10-11 ,共2页

    王嵩宇%路海林%袁凯%郭长厚

    왕숭우%로해림%원개%곽장후

    双层金属化%SEM%解理%缀饰 雙層金屬化%SEM%解理%綴飾
    쌍층금속화%SEM%해리%철식
    本文介绍了扫描电子显微镜(SEM)的器件剖面分析技术,并对双层金属化工艺中的技术难点进行了分析和研究.
    본문개소료소묘전자현미경(SEM)적기건부면분석기술,병대쌍층금속화공예중적기술난점진행료분석화연구.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문