红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2001年
2期
108-111
,共4页
形状尺寸%对比度%目标识别%滤波器
形狀呎吋%對比度%目標識彆%濾波器
형상척촌%대비도%목표식별%려파기
文中提出一种新的目标识别算法——形状尺寸对比度滤波器算法，它是在尺寸对比度滤波器的基础上，加上目标形状特征，克服了原单一回形结构算法的局限性，使算法可准确地识别具有特定形状和尺寸的目标。针对硅片对准八字标记，介绍了算法的基本原理和结构参数设计。通过对算法的分析及工程实际应用，有效地验证了该算法识别目标的正确性，并证实其特点。
文中提齣一種新的目標識彆算法——形狀呎吋對比度濾波器算法，它是在呎吋對比度濾波器的基礎上，加上目標形狀特徵，剋服瞭原單一迴形結構算法的跼限性，使算法可準確地識彆具有特定形狀和呎吋的目標。針對硅片對準八字標記，介紹瞭算法的基本原理和結構參數設計。通過對算法的分析及工程實際應用，有效地驗證瞭該算法識彆目標的正確性，併證實其特點。
문중제출일충신적목표식별산법——형상척촌대비도려파기산법，타시재척촌대비도려파기적기출상，가상목표형상특정，극복료원단일회형결구산법적국한성，사산법가준학지식별구유특정형상화척촌적목표。침대규편대준팔자표기，개소료산법적기본원리화결구삼수설계。통과대산법적분석급공정실제응용，유효지험증료해산법식별목표적정학성，병증실기특점。
A new algorithm called shape size contrast filter-SSCF is described in this paper. The target shape feature is considered and the limitation of size contrast filter with single loop structure is overcome. With this algorithm, the target of specific shape and size can be recognized correctly. The principle and structure parameter determination are introduced here by an example, where the “八” mark on the wafer should be aligned. The advantage of accuracy to recognize targets is proved.
