传输线模型测量Au/Ti/p型金刚石薄膜的欧姆接触电阻率
전수선모형측량Au/Ti/p형금강석박막적구모접촉전조솔
MEASUREMENT OF THE SPECIFIC CONTACT RESISTANCE OF Au/Ti/p-DIAMOND USING TRANSMISSION LINE MODEL
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2000年 7期 1348-1351 ,共4页

    王印月%甄聪棉%龚恒翔%阎志军%王亚凡%刘雪芹%杨映虎%何山虎

    왕인월%견총면%공항상%염지군%왕아범%류설근%양영호%하산호

    金刚石薄膜%欧姆接触%接触电阻率 金剛石薄膜%歐姆接觸%接觸電阻率
    금강석박막%구모접촉%접촉전조솔
    采用传输线模型测量了重B掺杂p型金刚石薄膜(约1020cm-3)上Ti/Au欧姆接触电阻率ρc,测试了500℃退火前后及大电流情况下的I-V特性,研究了退火对ρc的影响.结果表明,重掺杂和退火工艺是改善欧姆接触的有效手段.ρc随测试温度的变化表明金属/半导体接触界面载流子输运机制为隧道穿透.而光照对ρc影响的分析表明金刚石可作为理想窗口材料.测试得到的最低ρc值约为10-4Ωcm2.
    채용전수선모형측량료중B참잡p형금강석박막(약1020cm-3)상Ti/Au구모접촉전조솔ρc,측시료500℃퇴화전후급대전류정황하적I-V특성,연구료퇴화대ρc적영향.결과표명,중참잡화퇴화공예시개선구모접촉적유효수단.ρc수측시온도적변화표명금속/반도체접촉계면재류자수운궤제위수도천투.이광조대ρc영향적분석표명금강석가작위이상창구재료.측시득도적최저ρc치약위10-4Ωcm2.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문