电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2000年
5期
3-4
,共2页
金属-绝缘层-金属结构%薄膜应变栅%稳定性%高温
金屬-絕緣層-金屬結構%薄膜應變柵%穩定性%高溫
금속-절연층-금속결구%박막응변책%은정성%고온
运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属-绝缘层-金属(MIM)结构的薄膜应变栅,测试了应变栅在200～300℃的高温区内的稳定性,并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响.
運用薄膜技術在鎳基彈性體上製備金屬-絕緣層-金屬(MIM)結構的薄膜應變柵,測試瞭應變柵在200～300℃的高溫區內的穩定性,併分析瞭應變柵薄膜的結構、薄膜的應力以及熱處理工藝等因素對力敏薄膜在高溫下的穩定性的影響.
운용박막기술재얼기탄성체상제비금속-절연층-금속(MIM)결구적박막응변책,측시료응변책재200～300℃적고온구내적은정성,병분석료응변책박막적결구、박막적응력이급열처리공예등인소대력민박막재고온하적은정성적영향.
