清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
1999年
5期
69-72
,共4页
董桂芳%张克潜%汪健如%应根裕
董桂芳%張剋潛%汪健如%應根裕
동계방%장극잠%왕건여%응근유
聚焦离子束%微细加工%离子光学
聚焦離子束%微細加工%離子光學
취초리자속%미세가공%리자광학
为了在所研制的二级透镜聚焦离子束系统中获得直径小于0.2μm的稳定束斑,并进行亚微米微细加工,分析了影响束斑大小及稳定性的因素,并着重从像差、散焦和漂移的角度,利用理论分析和模拟计算,研究了决定系统光学性能的离子源、离子引出极、预聚焦极、聚焦极所用高压电源及电对中、消像散透镜、偏转器所用低压电源的稳定度对离子束径的影响,得到了束直径小于0.2μm时电源必须达到的稳定度,即高压电源的纹波系数1×10-4～1×10-5,低压电源的纹波系数6×10-4～1×10-4.
為瞭在所研製的二級透鏡聚焦離子束繫統中穫得直徑小于0.2μm的穩定束斑,併進行亞微米微細加工,分析瞭影響束斑大小及穩定性的因素,併著重從像差、散焦和漂移的角度,利用理論分析和模擬計算,研究瞭決定繫統光學性能的離子源、離子引齣極、預聚焦極、聚焦極所用高壓電源及電對中、消像散透鏡、偏轉器所用低壓電源的穩定度對離子束徑的影響,得到瞭束直徑小于0.2μm時電源必鬚達到的穩定度,即高壓電源的紋波繫數1×10-4～1×10-5,低壓電源的紋波繫數6×10-4～1×10-4.
위료재소연제적이급투경취초리자속계통중획득직경소우0.2μm적은정속반,병진행아미미미세가공,분석료영향속반대소급은정성적인소,병착중종상차、산초화표이적각도,이용이론분석화모의계산,연구료결정계통광학성능적리자원、리자인출겁、예취초겁、취초겁소용고압전원급전대중、소상산투경、편전기소용저압전원적은정도대리자속경적영향,득도료속직경소우0.2μm시전원필수체도적은정도,즉고압전원적문파계수1×10-4～1×10-5,저압전원적문파계수6×10-4～1×10-4.
