机械科学与技术
機械科學與技術
궤계과학여기술
MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2000年
5期
760-762
,共3页
静电梳微谐振子%蟹脚结构%直脚结构%位移%应力
靜電梳微諧振子%蟹腳結構%直腳結構%位移%應力
정전소미해진자%해각결구%직각결구%위이%응력
针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子,对其悬臂梁的两种结构--蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析,推导出应力和位移的计算方法,据此从理论上阐述了在实际中多用直脚型结构的原因.得出了比国外文献更符合实际情况的分析结果.
針對微機械領域中常用的靜電梳微諧振子,對其懸臂樑的兩種結構--蟹腳型結構和直腳型結構的受力情況作瞭分析,推導齣應力和位移的計算方法,據此從理論上闡述瞭在實際中多用直腳型結構的原因.得齣瞭比國外文獻更符閤實際情況的分析結果.
침대미궤계영역중상용적정전소미해진자,대기현비량적량충결구--해각형결구화직각형결구적수력정황작료분석,추도출응력화위이적계산방법,거차종이론상천술료재실제중다용직각형결구적원인.득출료비국외문헌경부합실제정황적분석결과.
