稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2003年
2期
299-302,313
,共5页
黎建明%屠海令%郑安生%陈坚邦
黎建明%屠海令%鄭安生%陳堅邦
려건명%도해령%정안생%진견방
锑化镓%切片%磨片%抛光%损伤层
銻化鎵%切片%磨片%拋光%損傷層
제화가%절편%마편%포광%손상층
用透射电子显微镜、扫描电镜对锑化镓材料切、磨、抛等加工工艺引入的表面损伤进行观察和检测. 结果表明: 切割加工是锑化镓单晶晶片表面损伤层引入的主要工序;锑化镓单晶切割片表面极不平整,有金刚砂所引起的较粗桔皮皱纹;其表面损伤层深度≤30 μm;双面研磨的锑化镓晶片表面仍有较粗桔皮皱纹,但比切割片的要细,而且桔皮皱纹的深浅随磨砂(Al2O3)粒径的减小而变细变浅;晶片的表面损伤层深度(≤5 μm)也随着磨砂粒径的减小而减小. 一般情况下,其损伤层的深度约为磨砂粒径的1/2. 机械化学抛光加工的锑化镓晶片表面的SEM像观察不到桔皮皱纹;其损伤层深度约55 nm.
用透射電子顯微鏡、掃描電鏡對銻化鎵材料切、磨、拋等加工工藝引入的錶麵損傷進行觀察和檢測. 結果錶明: 切割加工是銻化鎵單晶晶片錶麵損傷層引入的主要工序;銻化鎵單晶切割片錶麵極不平整,有金剛砂所引起的較粗桔皮皺紋;其錶麵損傷層深度≤30 μm;雙麵研磨的銻化鎵晶片錶麵仍有較粗桔皮皺紋,但比切割片的要細,而且桔皮皺紋的深淺隨磨砂(Al2O3)粒徑的減小而變細變淺;晶片的錶麵損傷層深度(≤5 μm)也隨著磨砂粒徑的減小而減小. 一般情況下,其損傷層的深度約為磨砂粒徑的1/2. 機械化學拋光加工的銻化鎵晶片錶麵的SEM像觀察不到桔皮皺紋;其損傷層深度約55 nm.
용투사전자현미경、소묘전경대제화가재료절、마、포등가공공예인입적표면손상진행관찰화검측. 결과표명: 절할가공시제화가단정정편표면손상층인입적주요공서;제화가단정절할편표면겁불평정,유금강사소인기적교조길피추문;기표면손상층심도≤30 μm;쌍면연마적제화가정편표면잉유교조길피추문,단비절할편적요세,이차길피추문적심천수마사(Al2O3)립경적감소이변세변천;정편적표면손상층심도(≤5 μm)야수착마사립경적감소이감소. 일반정황하,기손상층적심도약위마사립경적1/2. 궤계화학포광가공적제화가정편표면적SEM상관찰불도길피추문;기손상층심도약55 nm.
