青海师范大学学报(自然科学版)
青海師範大學學報(自然科學版)
청해사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF QINGHAI NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2003年
2期
45-47
,共3页
化学溶液沉积法%薄膜制备%超导电性
化學溶液沉積法%薄膜製備%超導電性
화학용액침적법%박막제비%초도전성
本文介绍应用化学溶液沉积法制备超导薄膜的方法.原则上应用这种方法可以广泛制备诸如氧化物铁电薄膜、氧化物介质薄膜、半导体薄膜、金属化合物薄膜等各类薄膜,广泛应用于科研和生产中.其方法成本低廉、工艺简单、制备周期短、且可在较低温度下成相,是一种制备薄膜的好方法.这里从理论与实践的结合上给以论述.
本文介紹應用化學溶液沉積法製備超導薄膜的方法.原則上應用這種方法可以廣汎製備諸如氧化物鐵電薄膜、氧化物介質薄膜、半導體薄膜、金屬化閤物薄膜等各類薄膜,廣汎應用于科研和生產中.其方法成本低廉、工藝簡單、製備週期短、且可在較低溫度下成相,是一種製備薄膜的好方法.這裏從理論與實踐的結閤上給以論述.
본문개소응용화학용액침적법제비초도박막적방법.원칙상응용저충방법가이엄범제비제여양화물철전박막、양화물개질박막、반도체박막、금속화합물박막등각류박막,엄범응용우과연화생산중.기방법성본저렴、공예간단、제비주기단、차가재교저온도하성상,시일충제비박막적호방법.저리종이론여실천적결합상급이논술.