激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2003年
1期
22-23
,共2页
刘斌%方高瞻%张敬明%马骁宇%肖建伟
劉斌%方高瞻%張敬明%馬驍宇%肖建偉
류빈%방고첨%장경명%마효우%초건위
980nm半导体激光器%可靠性%离子清洗%AES
980nm半導體激光器%可靠性%離子清洗%AES
980nm반도체격광기%가고성%리자청세%AES
介绍了离子清洗技术在提高980nm半导体激光器可靠性方面的应用.外延片在空气中解理后,半导体激光器的腔面会吸附上碳和氧等杂质.腔面吸附的氧和碳严重影响了器件的可靠性.本文用GaAs衬底表面模拟半导体激光器的解理腔面,并对其进行氩离子清洗,俄歇电子能谱(AES)分析显示氩离子清洗可以有效地清除GaAs表面的氧和碳等杂质.
介紹瞭離子清洗技術在提高980nm半導體激光器可靠性方麵的應用.外延片在空氣中解理後,半導體激光器的腔麵會吸附上碳和氧等雜質.腔麵吸附的氧和碳嚴重影響瞭器件的可靠性.本文用GaAs襯底錶麵模擬半導體激光器的解理腔麵,併對其進行氬離子清洗,俄歇電子能譜(AES)分析顯示氬離子清洗可以有效地清除GaAs錶麵的氧和碳等雜質.
개소료리자청세기술재제고980nm반도체격광기가고성방면적응용.외연편재공기중해리후,반도체격광기적강면회흡부상탄화양등잡질.강면흡부적양화탄엄중영향료기건적가고성.본문용GaAs츤저표면모의반도체격광기적해리강면,병대기진행아리자청세,아헐전자능보(AES)분석현시아리자청세가이유효지청제GaAs표면적양화탄등잡질.
