真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
6期
470-473
,共4页
刘坤%季振国%杨成兴%芮祥新%王龙成%叶志镇
劉坤%季振國%楊成興%芮祥新%王龍成%葉誌鎮
류곤%계진국%양성흥%예상신%왕룡성%협지진
ZnO薄膜%反应沉积%X射线衍射%紫外辐射光吸收
ZnO薄膜%反應沉積%X射線衍射%紫外輻射光吸收
ZnO박막%반응침적%X사선연사%자외복사광흡수
以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和Zn源温度下生长ZnO薄膜的最佳参数.本文还讨论了该方法制备ZnO薄膜的沉积机制及优化条件下样品的透光特性.
以二水閤醋痠Zn為原料,採用反應沉積方法在非晶玻璃襯底上製備齣瞭高度c軸取嚮、結晶良好的ZnO薄膜.研究瞭不同襯底溫度和Zn源溫度對ZnO薄膜性質的影響,探討瞭不同襯底溫度和Zn源溫度下生長ZnO薄膜的最佳參數.本文還討論瞭該方法製備ZnO薄膜的沉積機製及優化條件下樣品的透光特性.
이이수합작산Zn위원료,채용반응침적방법재비정파리츤저상제비출료고도c축취향、결정량호적ZnO박막.연구료불동츤저온도화Zn원온도대ZnO박막성질적영향,탐토료불동츤저온도화Zn원온도하생장ZnO박막적최가삼수.본문환토론료해방법제비ZnO박막적침적궤제급우화조건하양품적투광특성.
