金属功能材料
金屬功能材料
금속공능재료
METALLIC FUNCTIONAL MATERIALS
2002年
4期
24-29
,共6页
徐炜新%程新利%金惠娟%许裕生
徐煒新%程新利%金惠娟%許裕生
서위신%정신리%금혜연%허유생
Fe-Zr-B合金%非晶薄膜%直流磁控溅射
Fe-Zr-B閤金%非晶薄膜%直流磁控濺射
Fe-Zr-B합금%비정박막%직류자공천사
用X-射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱、穆斯堡尔谱研究了直流磁控溅射法制备的Fe-Zr-B薄膜.用振动样品磁强计测量了薄膜的磁性能.X-射线衍射和透射电镜结果表明,制备态的薄膜是非晶的;X射线光电子能谱结果表明样品表面氧化较明显,深层部分Fe,Zr,B结合占主导地位;穆斯堡尔谱结果表明薄膜中Fe原子周围Zr,B原子的存在使Fe原子核内场值有所下降并导致超精细场分布P(H)出现双峰结构,薄膜中存在两种不同的局域微结构.
用X-射線衍射、透射電鏡、X射線光電子能譜、穆斯堡爾譜研究瞭直流磁控濺射法製備的Fe-Zr-B薄膜.用振動樣品磁彊計測量瞭薄膜的磁性能.X-射線衍射和透射電鏡結果錶明,製備態的薄膜是非晶的;X射線光電子能譜結果錶明樣品錶麵氧化較明顯,深層部分Fe,Zr,B結閤佔主導地位;穆斯堡爾譜結果錶明薄膜中Fe原子週圍Zr,B原子的存在使Fe原子覈內場值有所下降併導緻超精細場分佈P(H)齣現雙峰結構,薄膜中存在兩種不同的跼域微結構.
용X-사선연사、투사전경、X사선광전자능보、목사보이보연구료직류자공천사법제비적Fe-Zr-B박막.용진동양품자강계측량료박막적자성능.X-사선연사화투사전경결과표명,제비태적박막시비정적;X사선광전자능보결과표명양품표면양화교명현,심층부분Fe,Zr,B결합점주도지위;목사보이보결과표명박막중Fe원자주위Zr,B원자적존재사Fe원자핵내장치유소하강병도치초정세장분포P(H)출현쌍봉결구,박막중존재량충불동적국역미결구.
