功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2002年
2期
205-210
,共6页
林青%谢欣云%朱鸣%张苗%林成鲁
林青%謝訢雲%硃鳴%張苗%林成魯
림청%사흔운%주명%장묘%림성로
自加热效应%沟道电流%跨导畸变%负微分迁移率%SOI新结构
自加熱效應%溝道電流%跨導畸變%負微分遷移率%SOI新結構
자가열효응%구도전류%과도기변%부미분천이솔%SOI신결구
阐述了自加热效应产生的原因以及它对SOI电路的影响,并介绍了为克服自加热效应和满足某些特殊器件和电路的要求,国内外正在竞相探索研究的新型SOI结构,如SOIM、SilicononAlN、GPSOI、SiCOI、GeSiOI、SON、SSOI等.结合SOI新结构制备工作,报道了SOI的自加热效应及其新结构的研究进展.
闡述瞭自加熱效應產生的原因以及它對SOI電路的影響,併介紹瞭為剋服自加熱效應和滿足某些特殊器件和電路的要求,國內外正在競相探索研究的新型SOI結構,如SOIM、SilicononAlN、GPSOI、SiCOI、GeSiOI、SON、SSOI等.結閤SOI新結構製備工作,報道瞭SOI的自加熱效應及其新結構的研究進展.
천술료자가열효응산생적원인이급타대SOI전로적영향,병개소료위극복자가열효응화만족모사특수기건화전로적요구,국내외정재경상탐색연구적신형SOI결구,여SOIM、SilicononAlN、GPSOI、SiCOI、GeSiOI、SON、SSOI등.결합SOI신결구제비공작,보도료SOI적자가열효응급기신결구적연구진전.
