光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2002年
2期
6-9,38
,共5页
波前传感器%光束质量%波像差
波前傳感器%光束質量%波像差
파전전감기%광속질량%파상차
仿真研究了H-S测量因子等光束质量指标的全过程和可行性.结果表明,由H-S测量的圆形光束的因子值与原始光束的因子值基本相当,有很好的一致性.由此认为,H-S除了可以评价远场测量系统探测得到的光斑的各种量,比如PSF,OTF,衍射极限,环围能量等远场特性,而且还可以从因子来说明光束质量的特性.
倣真研究瞭H-S測量因子等光束質量指標的全過程和可行性.結果錶明,由H-S測量的圓形光束的因子值與原始光束的因子值基本相噹,有很好的一緻性.由此認為,H-S除瞭可以評價遠場測量繫統探測得到的光斑的各種量,比如PSF,OTF,衍射極限,環圍能量等遠場特性,而且還可以從因子來說明光束質量的特性.
방진연구료H-S측량인자등광속질량지표적전과정화가행성.결과표명,유H-S측량적원형광속적인자치여원시광속적인자치기본상당,유흔호적일치성.유차인위,H-S제료가이평개원장측량계통탐측득도적광반적각충량,비여PSF,OTF,연사겁한,배위능량등원장특성,이차환가이종인자래설명광속질량적특성.