应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2002年
2期
132-136,164
,共6页
激光-真空弧%准晶%薄膜%颗粒
激光-真空弧%準晶%薄膜%顆粒
격광-진공호%준정%박막%과립
准晶态合金具有许多晶态合金无法比拟的特性,如低电导率、低导热率和负温度系数、抗磁性、高硬度、低摩擦系数和耐蚀性等.准晶合金做为涂层和薄膜材料具有重要的潜在应用价值.准晶合金薄膜由于对其成份的特殊要求,一般方法难以制备.本文首先介绍了激光-真空弧薄膜沉积技术和自行研制的相关设备.利用该设备,在Si<111>基体表面制备了Al65Cu20Fe15准晶态合金薄膜.研究了所制备薄膜的厚度、颗粒度等与薄膜制备过程中激光脉冲频率、引弧电压和靶材-衬底间距等工作参数之间的对应关系.结果表明,通过调整工艺参数,可以有效的改善成膜质量.薄膜沉积所用的靶材是电磁感应熔炼制备的Al65Cu20Fe15准晶整体材料.沉积在衬底上的薄膜是与准晶合金成分接近的非晶态薄膜.为了得到准晶态合金膜需对其进行退火处理,本文探讨了退火温度、与膜成分、组织结构的变化趋势之间的关系.
準晶態閤金具有許多晶態閤金無法比擬的特性,如低電導率、低導熱率和負溫度繫數、抗磁性、高硬度、低摩抆繫數和耐蝕性等.準晶閤金做為塗層和薄膜材料具有重要的潛在應用價值.準晶閤金薄膜由于對其成份的特殊要求,一般方法難以製備.本文首先介紹瞭激光-真空弧薄膜沉積技術和自行研製的相關設備.利用該設備,在Si<111>基體錶麵製備瞭Al65Cu20Fe15準晶態閤金薄膜.研究瞭所製備薄膜的厚度、顆粒度等與薄膜製備過程中激光脈遲頻率、引弧電壓和靶材-襯底間距等工作參數之間的對應關繫.結果錶明,通過調整工藝參數,可以有效的改善成膜質量.薄膜沉積所用的靶材是電磁感應鎔煉製備的Al65Cu20Fe15準晶整體材料.沉積在襯底上的薄膜是與準晶閤金成分接近的非晶態薄膜.為瞭得到準晶態閤金膜需對其進行退火處理,本文探討瞭退火溫度、與膜成分、組織結構的變化趨勢之間的關繫.
준정태합금구유허다정태합금무법비의적특성,여저전도솔、저도열솔화부온도계수、항자성、고경도、저마찰계수화내식성등.준정합금주위도층화박막재료구유중요적잠재응용개치.준정합금박막유우대기성빈적특수요구,일반방법난이제비.본문수선개소료격광-진공호박막침적기술화자행연제적상관설비.이용해설비,재Si<111>기체표면제비료Al65Cu20Fe15준정태합금박막.연구료소제비박막적후도、과립도등여박막제비과정중격광맥충빈솔、인호전압화파재-츤저간거등공작삼수지간적대응관계.결과표명,통과조정공예삼수,가이유효적개선성막질량.박막침적소용적파재시전자감응용련제비적Al65Cu20Fe15준정정체재료.침적재츤저상적박막시여준정합금성분접근적비정태박막.위료득도준정태합금막수대기진행퇴화처리,본문탐토료퇴화온도、여막성분、조직결구적변화추세지간적관계.
