物理学报
物理學報
물이학보
2001年
8期
1555-1559
,共5页
吴锋民%施建青%吴自勤
吳鋒民%施建青%吳自勤
오봉민%시건청%오자근
薄膜%MonteCarlo模拟%成核%岛密度%薄膜生长率
薄膜%MonteCarlo模擬%成覈%島密度%薄膜生長率
박막%MonteCarlo모의%성핵%도밀도%박막생장솔
采用实际的生长模型和物理参量，用Monte Carlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究.综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散和岛的合并等众多过程后，模拟得到与实验结果相当一致的薄膜生长形貌及其相应的定量结果.通过动态统计薄膜生长过程中的岛数目及薄膜生长率，得到实验中不易直接获得的高温下薄膜生长的许多细节，如岛数目和薄膜生长率随表面温度、覆盖度变化的详细情况等.
採用實際的生長模型和物理參量，用Monte Carlo方法對高溫下金屬薄膜的生長過程進行瞭模擬研究.綜閤攷慮瞭原子沉積、擴散、成覈、生長和擴散原子的再蒸髮、原子沿島週界擴散和島的閤併等衆多過程後，模擬得到與實驗結果相噹一緻的薄膜生長形貌及其相應的定量結果.通過動態統計薄膜生長過程中的島數目及薄膜生長率，得到實驗中不易直接穫得的高溫下薄膜生長的許多細節，如島數目和薄膜生長率隨錶麵溫度、覆蓋度變化的詳細情況等.
채용실제적생장모형화물리삼량，용Monte Carlo방법대고온하금속박막적생장과정진행료모의연구.종합고필료원자침적、확산、성핵、생장화확산원자적재증발、원자연도주계확산화도적합병등음다과정후，모의득도여실험결과상당일치적박막생장형모급기상응적정량결과.통과동태통계박막생장과정중적도수목급박막생장솔，득도실험중불역직접획득적고온하박막생장적허다세절，여도수목화박막생장솔수표면온도、복개도변화적상세정황등.
