功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2001年
5期
506-507
,共2页
姚若河%林璇英%黄创君%杨坤进%林揆训
姚若河%林璇英%黃創君%楊坤進%林揆訓
요약하%림선영%황창군%양곤진%림규훈
薄膜成长%计算机模拟%Monte Carlo方法
薄膜成長%計算機模擬%Monte Carlo方法
박막성장%계산궤모의%Monte Carlo방법
利用Monte Carlo模型研究了用PCVD法沉积a-Si:H薄膜初始阶段团簇的大小和数目与衬底温度的关系.该模型考虑了两个成长阶段,即成核阶段和晶核成长阶段;3种动力学过程,即粒子入射、吸附粒子扩散和吸附粒子脱附过程.模拟结果表明,随着衬底温度的升高,团簇的数目和大小都有所增长,且存在-个最佳温度550K,使团簇的数目达到饱和,晶粒为最大,与实验结果基本相符.
利用Monte Carlo模型研究瞭用PCVD法沉積a-Si:H薄膜初始階段糰簇的大小和數目與襯底溫度的關繫.該模型攷慮瞭兩箇成長階段,即成覈階段和晶覈成長階段;3種動力學過程,即粒子入射、吸附粒子擴散和吸附粒子脫附過程.模擬結果錶明,隨著襯底溫度的升高,糰簇的數目和大小都有所增長,且存在-箇最佳溫度550K,使糰簇的數目達到飽和,晶粒為最大,與實驗結果基本相符.
이용Monte Carlo모형연구료용PCVD법침적a-Si:H박막초시계단단족적대소화수목여츤저온도적관계.해모형고필료량개성장계단,즉성핵계단화정핵성장계단;3충동역학과정,즉입자입사、흡부입자확산화흡부입자탈부과정.모의결과표명,수착츤저온도적승고,단족적수목화대소도유소증장,차존재-개최가온도550K,사단족적수목체도포화,정립위최대,여실험결과기본상부.
