半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2001年
7期
817-820
,共4页
多孔度%多孔硅%发光强度
多孔度%多孔硅%髮光彊度
다공도%다공규%발광강도
在制备多孔硅材料时,多孔硅的多孔度和厚度与电解电流强度、电解时间以及氢氟酸的浓度有关.如果氢氟酸的浓度保持不变,通过改变电解时间和电解电流强度就可以得到所需多孔硅的多孔度及厚度.但现在一般都通过测量设备来重复测量多孔硅的多孔度及厚度,特别是多层多孔硅,很难严格控制其厚度.为此,通过对多孔硅中载流子运动的研究,结合BET方程中的SBET定义,推导出多孔硅的多孔度、电解速度和电解电流强度之间的关系表达式.通过该理论公式,就可以保证精确得到多孔硅的多孔度及厚度.该理论公式得到了实验的验证.
在製備多孔硅材料時,多孔硅的多孔度和厚度與電解電流彊度、電解時間以及氫氟痠的濃度有關.如果氫氟痠的濃度保持不變,通過改變電解時間和電解電流彊度就可以得到所需多孔硅的多孔度及厚度.但現在一般都通過測量設備來重複測量多孔硅的多孔度及厚度,特彆是多層多孔硅,很難嚴格控製其厚度.為此,通過對多孔硅中載流子運動的研究,結閤BET方程中的SBET定義,推導齣多孔硅的多孔度、電解速度和電解電流彊度之間的關繫錶達式.通過該理論公式,就可以保證精確得到多孔硅的多孔度及厚度.該理論公式得到瞭實驗的驗證.
재제비다공규재료시,다공규적다공도화후도여전해전류강도、전해시간이급경불산적농도유관.여과경불산적농도보지불변,통과개변전해시간화전해전류강도취가이득도소수다공규적다공도급후도.단현재일반도통과측량설비래중복측량다공규적다공도급후도,특별시다층다공규,흔난엄격공제기후도.위차,통과대다공규중재류자운동적연구,결합BET방정중적SBET정의,추도출다공규적다공도、전해속도화전해전류강도지간적관계표체식.통과해이론공식,취가이보증정학득도다공규적다공도급후도.해이론공식득도료실험적험증.
