光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2004年
5期
7-10
,共4页
超光滑%粗糙度%干涉仪%无损检测
超光滑%粗糙度%榦涉儀%無損檢測
초광활%조조도%간섭의%무손검측
介绍了一种应用激光双焦干涉原理测量大口径超光滑表面粗糙度的检测系统.该系统采用共路干涉和电子共模抑制技术,减小了测试环境的影响,消除了激光光强波动引起的系统误差.同时,采用紧凑的光学干涉头移动的扫描方式,因此能够测量大口径光学元件.系统的横向分辨力为0.5μm,纵向分辨力为0.1nm,系统的重复性优于2%.
介紹瞭一種應用激光雙焦榦涉原理測量大口徑超光滑錶麵粗糙度的檢測繫統.該繫統採用共路榦涉和電子共模抑製技術,減小瞭測試環境的影響,消除瞭激光光彊波動引起的繫統誤差.同時,採用緊湊的光學榦涉頭移動的掃描方式,因此能夠測量大口徑光學元件.繫統的橫嚮分辨力為0.5μm,縱嚮分辨力為0.1nm,繫統的重複性優于2%.
개소료일충응용격광쌍초간섭원리측량대구경초광활표면조조도적검측계통.해계통채용공로간섭화전자공모억제기술,감소료측시배경적영향,소제료격광광강파동인기적계통오차.동시,채용긴주적광학간섭두이동적소묘방식,인차능구측량대구경광학원건.계통적횡향분변력위0.5μm,종향분변력위0.1nm,계통적중복성우우2%.
